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              歡迎訪(fǎng)問(wèn)泰州市杰晟儀表有限公司!
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              產(chǎn)品中心
              擴散爐多點(diǎn)熱電偶S型R型
              擴散爐多點(diǎn)熱電偶S型R型
              詳細說(shuō)明:

              擴散爐熱電偶:

                  半導體專(zhuān)用測溫儀表擴散爐熱電偶分為:多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專(zhuān)用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點(diǎn)式擴散爐熱電偶等,各種產(chǎn)品形態(tài)不一,大小與結構也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來(lái)說(shuō),為各大光伏產(chǎn)業(yè)帶來(lái)了許多幫助。該產(chǎn)品為了生產(chǎn)加工PECVD的隔離導電性,外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成,采用多個(gè)點(diǎn)位***測量,也有用戶(hù)采用多點(diǎn)測量法計算出爐內的平均值從而獲得應有的數據。

              溫度測量在0~1800℃中使用,測量點(diǎn)分為單點(diǎn)和多點(diǎn),點(diǎn)可達8個(gè)點(diǎn)的測量,精度符合國際標準,工業(yè)等級I級,1500度誤差2℃不到,精度相當高,完全代替進(jìn)口產(chǎn)品。擴散爐熱電偶用于光伏產(chǎn)業(yè)、半導體的開(kāi)發(fā)與研制、科研領(lǐng)域、軍工單位、進(jìn)口設備(如:Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等)、燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等,可溶化多晶硅、生長(cháng)多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無(wú)定形硅和玻璃等工藝測溫。

               

              技術(shù)參數:
              1、符合IEC584 GB/T18404-2001標準

              2、精度等級:CLASS-A:0.25% ;CLASS-B:0.5%

              3、Spike TC是用來(lái)測量與控制爐管外的各點(diǎn)溫度

              4、profile TC與Paddle TC是用來(lái)測量與控制爐管內各點(diǎn)溫度

              5、與spike和profile配套使用,可自動(dòng)切換方式進(jìn)行控溫

              6、壽命長(cháng)、精度高、穩定性好、交貨期短、可完全代替進(jìn)口

              7、擴散爐熱電偶總長(cháng)含頭1750mm。(5點(diǎn)長(cháng):1700、1530、1200、870、700)

               

              擴散爐熱電偶產(chǎn)品選型:

                  擴散爐爐外熱電偶(可帶螺紋、法蘭、裸露式):

              NAME

              Spike TC  (group :1、2)

              TYPE

              SKFN-Spike TC

              SKFN-Spike TC

              SKFN-Spike TC

              SKFN-Spike TC

              GRADUATION

              B-type

              S-type

              R-type

              K-type

              QUALITY

              剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管

              SPEC

              Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm

              RANGE

              0~1800℃

              0~1600℃

              0~1600℃

              0~1300℃

              SENSITIVITY

              5s≤

              5s≤

              8s≤

              10s≤

              THERMAL ERROR

              1.0℃

              1.2℃

              1.5℃

              2.0℃

              USE

              真空爐、氧化爐、擴散爐

              FIRM NAME

              鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、專(zhuān)用熱電偶

               

                  擴散爐爐內熱電偶(爐內、爐外):

              NAME

              profile TC  (point :1、3、5、8)

              TYPE

              SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8

              GRADUATION

              B-type

              S-type

              R-type

              K-type

              QUALITY

              剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管、鎢管

              SPEC

              Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm

              RANGE

              0~1800℃

              0~1600℃

              0~1600℃

              0~1300℃

              SENSITIVITY

              5s≤

              5s≤

              8s≤

              10s≤

              THERMAL ERROR

              1.0℃

              1.2℃

              1.5℃

              2.0℃

              USE

              燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐

              FIRM NAME

              石英熱電偶、多點(diǎn)熱電偶、擴散爐熱電偶、貴金屬鉑銠熱電偶

               

                  擴散爐爐內外熱電偶(鎧裝式、爐內、爐外、可彎曲):

              NAME

              Paddle Tc  

              TYPE

              SKFN-Paddle Tc

              GRADUATION

              B-type

              S-type

              R-type

              K-type

              QUALITY

              GH3039、GH3030

              SPEC

              Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm

              RANGE

              0~1300℃

              SENSITIVITY

              5s≤

              5s≤

              5s≤

              6s≤

              THERMAL ERROR

              1.0℃

              1.2℃

              1.5℃

              2.0℃

              USE

              真空爐、氧化爐、擴散爐

              FIRM NAME

              鎧裝鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、微細鎧裝鉑銠熱電偶

              版權所有:泰州市杰晟儀表有限公司     備案號:蘇ICP備18037485號-1     
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